Ħarsa ġenerali lejn il-Fotoreżist
Fotoreżista, magħrufa wkoll bħala fotoreżista, tirreferi għal materjal ta' film irqiq li s-solubilità tiegħu tinbidel meta tkun esposta għal dawl UV, raġġi ta' elettroni, raġġi ta' joni, raġġi-X, jew radjazzjoni oħra.
Huwa magħmul minn reżina, fotoinizjatur, solvent, monomeru, u addittivi oħra (ara t-Tabella 1). Ir-reżina fotoreżistenti u l-fotoinizjatur huma l-aktar komponenti importanti li jaffettwaw il-prestazzjoni tal-fotoreżistenti. Jintuża bħala kisi kontra l-korrużjoni matul il-proċess tal-fotolitografija.
Meta tipproċessa uċuħ tas-semikondutturi, l-użu ta' fotoreżist selettiv b'mod xieraq jista' joħloq l-immaġni mixtieqa fuq il-wiċċ.
Tabella 1.
| Ingredjenti tar-Reżist Fotoloġiku | Prestazzjoni |
| Solvent | Jagħmel il-fotoreżist fluwidu u volatili, u kważi m'għandu l-ebda effett fuq il-proprjetajiet kimiċi tal-fotoreżist. |
| Fotoinizjatur | Magħruf ukoll bħala fotosensitizzatur jew aġent tal-fotokurar, huwa l-komponent fotosensittiv fil-materjal fotoreżist. Huwa tip ta' kompost li jista' jiddekomponi f'radikali ħielsa jew katjoni u jibda reazzjonijiet kimiċi ta' cross-linking fil-monomeri wara li jassorbi l-enerġija tad-dawl ultravjola jew viżibbli ta' ċerta wavelength. |
| Reżina | Huwa polimeri inerti, u jaġixxi bħala sustanzi li jgħaqqdu biex iżomm il-materjali differenti f'fotoreżista flimkien, u jagħti lill-fotoreżista l-proprjetajiet mekkaniċi u kimiċi tiegħu. |
| Monomeru | Magħruf ukoll bħala dilwenti attivi, huma molekuli żgħar li fihom gruppi funzjonali polimerizzabbli u huma komposti ta' piż molekulari baxx li jistgħu jipparteċipaw f'reazzjonijiet ta' polimerizzazzjoni biex jiffurmaw reżini ta' piż molekulari għoli. |
| Addittiv | Jintuża biex jikkontrolla l-proprjetajiet kimiċi speċifiċi tar-reżistenti fotokimiċi. |
Il-fotoreżisti huma kklassifikati f'żewġ kategoriji ewlenin ibbażati fuq l-immaġni li jiffurmaw: pożittiva u negattiva. Matul il-proċess tal-fotoreżista, wara l-espożizzjoni u l-iżvilupp, il-porzjonijiet esposti tal-kisi jinħallu, u jitħallew il-porzjonijiet mhux esposti. Dan il-kisi huwa kkunsidrat bħala fotoreżista pożittiva. Jekk il-porzjonijiet esposti jibqgħu waqt li l-porzjonijiet mhux esposti jinħallu, il-kisi huwa kkunsidrat bħala fotoreżista negattiva. Skont is-sors tad-dawl tal-espożizzjoni u s-sors tar-radjazzjoni, il-fotoreżisti huma kkategorizzati aktar bħala UV (inklużi fotoreżisti UV pożittivi u negattivi), fotoreżisti UV profondi (DUV), fotoreżisti bir-raġġi-X, fotoreżisti bir-raġġ tal-elettroni, u fotoreżisti bir-raġġ tal-joni.
Il-fotoreżist jintuża primarjament fl-ipproċessar ta' mudelli fini f'pannelli tal-wiri, ċirkwiti integrati, u apparati semikondutturi diskreti. It-teknoloġija tal-produzzjoni wara l-fotoreżist hija kumplessa, b'varjetà wiesgħa ta' tipi ta' prodotti u speċifikazzjonijiet. Il-manifattura taċ-ċirkwiti integrati tal-industrija tal-elettronika timponi rekwiżiti stretti fuq il-fotoreżist użat.
Ever Ray, manifattur b'20 sena esperjenza speċjalizzat fil-produzzjoni u l-iżvilupp ta' reżini fotokurabbli, jiftaħar b'kapaċità ta' produzzjoni annwali ta' 20,000 tunnellata, linja komprensiva ta' prodotti, u l-abbiltà li jippersonalizza l-prodotti. Fil-fotoreżist, Ever Ray għandu r-reżina 17501 bħala l-komponent ewlieni.
